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高精密磨床
ULC/ULG 系列旨在以高效率和高精度車(chē)削和研磨自由形狀表面(fθ 透鏡)和非球面透鏡及其各自的模具。另外,機床結構和選件可用于各種應用,具有較高的性?xún)r(jià)比。
一、功能
1、高精度空氣靜力軸承主軸(研磨主軸、工作主軸)(1)精密損耗精度
除了高速、高精度、高剛性、低發(fā)熱性和高可靠性,還實(shí)現了精密損耗精度
研磨主軸:20nm/SPAM
工作主軸:5nm/SPAM (*1)
(*1) 通過(guò)單點(diǎn)異步誤差運動(dòng)方法測量
(2)考慮生態(tài)環(huán)境
高精度空氣靜力軸承主軸配有多孔限流器,可實(shí)現穩定化和精致的加工表面,多孔限流器大大減少了空氣消耗,本公司根據慣例實(shí)現了 1/6 比率的空氣消耗量,因此,利于節能減排。
2、高精度滾針V-V導軌
(1)高可重復性,高加工效率
低摩擦力導軌整合了本公司的原創(chuàng )高研磨技術(shù)和精選高精度軋輥,對納米范圍進(jìn)給速率響應度高,消了逆向進(jìn)給的延遲。該導軌系統的剛性和穩定性高于靜液壓/空氣靜力軸承導軌,但精度能保持相似。
(2)考慮生態(tài)環(huán)境和空間節省
沒(méi)有靜態(tài)導軌常見(jiàn)的流體溫度波動(dòng),以保穩定的精度,同時(shí)無(wú)需使用液壓裝置之類(lèi)的設備,即節省空間又節省能源。
3、軸驅動(dòng)技術(shù)
(1)優(yōu)化的設計
在考慮性?xún)r(jià)比的前提下,針對每種機器類(lèi)型和軸優(yōu)化設計了滾珠螺桿驅動(dòng)系統和線(xiàn)性馬達驅動(dòng)系統。
(2)考慮高精致加工
通過(guò)采用滾珠螺桿驅動(dòng)系統,我們開(kāi)發(fā)并利用耦合器,解決了滾珠螺桿旋轉所造成的常見(jiàn)應力和振蕩問(wèn)題。
三、主要規格
(1)車(chē)床
型號 |
ULC-100D(S) |
|
直線(xiàn)行程軸 |
X 軸 (mm) |
300 |
Y 軸 (mm) |
25 | |
Z 軸 (mm) |
150 | |
編程分辨率 (nm) |
1 |
|
最大進(jìn)給速率(mm/min) |
X、Z:500 Y: 300 |
|
工作主軸 |
旋轉速度 (min-1) |
0-1500 |
真空吸盤(pán)直徑 (mm) |
π100 |
|
C 軸功能 |
—— | |
研磨主軸速度 (min-1) |
—— | |
B 軸車(chē)削工作臺 |
進(jìn)給速率(度/分鐘) |
—— |
編程分辨率(度) |
—— |
|
軸結構,括號 () 中的軸是配件。 |
X 軸,Y 軸,Z 軸 |
|
可選配件 |
噴霧冷卻劑供應裝置、刀具架、對稱(chēng)非球面表面加工軟件和 PC、集霧器等 |
(2)車(chē)削和研磨機床
型號 |
ULG-100E(HY) |
ULG-100D(HYS) |
ULG-100D(HYB) |
|
直線(xiàn)行程軸 |
X 軸 (mm) |
300 |
300 |
300 |
Y 軸 (mm) |
20 |
25 |
25 |
|
Z 軸 (mm) |
150 |
150 |
150 |
|
編程分辨率 (nm) |
1 |
|||
最大進(jìn)給速率(mm/min) |
X、Z:500 Y: 300 |
|||
工作主軸 |
旋轉速度(min-1) |
0-1500 |
||
真空吸盤(pán)直徑 (mm) |
π100 |
|||
C 軸功能 |
配件 |
標配 |
||
研磨主軸速度 (min-1) |
5000-40000 | 10000-60000 | ||
B 軸車(chē)削工作臺 |
進(jìn)給速率(度/分鐘) |
—— | 0-1080 | |
編程分辨率(度) |
—— |
0.0001 | ||
軸結構,括號 () 中的軸是配件。 |
X 軸,Y 軸,Z 軸(C軸) |
X 軸,Y 軸,Z 軸、B軸、C軸 |
||
可選配件 |
冷卻劑供應裝置、噴霧冷卻劑供應裝置、刀具架、對稱(chēng)非球面表面加工軟件、非對稱(chēng)非球面表面加工軟件 (*1) 和 PC、集霧器等 |
(*1) ULG-100A(HY) 和 ULG-100D(HYS) 不提供非對稱(chēng)非球面表面加工軟件。
(3)自由形狀表面車(chē)削和研磨機床
型號 |
ULG-100D(H3) |
ULG-100D(5A) |
|
直線(xiàn)行程軸 |
X 軸 (mm) |
300 |
450 |
Y 軸 (mm) | 100 |
100 |
|
Z 軸 (mm) | 150 | 150 | |
編程分辨率 (nm) |
1 |
||
最大進(jìn)給速率(mm/min) |
X 軸、Z 軸、Y 軸: 500 |
||
工作主軸 |
旋轉速度(min-1) |
0-1500 |
|
真空吸盤(pán)直徑 (mm) |
π100 |
||
C 軸功能 |
標配 | ||
研磨主軸速度 (min-1) |
5000-40000 |
10000-60000 |
|
B 軸車(chē)削工作臺 |
進(jìn)給速率(度/分鐘) |
—— |
|
編程分辨率(度) |
—— |
||
軸結構,括號 () 中的軸是配件。 |
X 軸,Y 軸,Z 軸、C軸 |
X 軸,Y 軸,Z 軸、B軸、C軸 |
|
可選配件 |
冷卻劑供應裝置、噴霧冷卻劑供應裝置、刀具架、對稱(chēng)非球面表面加工軟件、非對稱(chēng)非球面表面加工軟件和 PC、集霧器等 |